Kao i opseg mjerenja, preciznost mjerenja je jedan od najvažnijih pokazatelja senzora. Svako poboljšanje u procentima predstavlja značajan iskorak, čak i promjenu u klasi, za senzor. To je zato što troškovi proizvodnje i prodajne cijene uvelike variraju ovisno o traženoj preciznosti. Na primjer, jeftin uvozni senzor vlažnosti košta samo nekoliko dolara, dok senzor vlage punog opsega za kalibraciju košta nekoliko stotina dolara-što je skoro stostruka razlika. Stoga korisnici moraju birati u skladu sa svojim specifičnim potrebama i izbjegavati slijepo traženje "visokih-, preciznih i najsavremenijih- senzora.
Proizvođači često daju tačnost svojih senzora vlažnosti u segmentima. Na primjer, ±2%RH za raspon srednje i niske vlažnosti (0-80%RH), i ±4%RH za raspon visoke vlažnosti (80-100%RH). Štaviše, ova tačnost se zasniva na specifičnoj temperaturi (npr. 25 stepeni). Ako se senzor vlažnosti koristi na različitim temperaturama, očitavanje također mora uzeti u obzir učinak temperaturnog pomaka. Kao što je poznato, relativna vlažnost je funkcija temperature, a temperatura značajno utiče na relativnu vlažnost u datom prostoru. Svakih 0,1 stepen promjene temperature rezultirat će promjenom vlažnosti od 0,5% RH (greška). Ako je teško postići konstantnu temperaturu u okolini primjene, zahtijevanje previsoke preciznosti mjerenja vlažnosti nije prikladno. Budući da vlažnost zraka varira s promjenama temperature, diskusija o preciznosti mjerenja visoke vlažnosti postaje besmislena. Stoga je kontrola temperature najvažnija za kontrolu vlažnosti, zbog čega se naširoko koriste integrirani senzori temperature i vlažnosti, a ne samo senzori vlažnosti.
U većini slučajeva, ako precizna kontrola temperature nije dostupna, ili izmjereni prostor nije zapečaćen, dovoljna je preciznost od ±5% RH. Za aplikacije koje zahtijevaju preciznu kontrolu konstantne temperature i vlažnosti u lokaliziranom prostoru, ili gdje je potrebno kontinuirano praćenje promjena vlažnosti, treba odabrati ±3% RH.
